实验名称：频响范围及灵敏度声传感测试

　　测试设备：功率放大器、示波器、信号发生器、频谱分析仪、锁定放大器、相位调制器、光电检测器等。

　　实验过程：

　　图1：(a)环形谐振腔的实验测试系统：PM，相位调制器；SG，信号发生器；PD，光电探测器；LIA，锁定放大器；PI，锁定频率控制器；HVA，功率放大器；OSC，示波器；SA，频谱分析仪；PA，功率放大器。这里，蓝线是光路，黑线是电路；(b)传感器2的环形谐振腔的光谱线和频率锁定曲线；（c）传感器2的解调信号在加入声信号时的响应

　　构建了基于相位调制光谱技术的声信号检测系统。测试系统中包含激光器以及相位调制器；光电检测器；锁定放大器；信号发生器；功率放大器(HVA）；频谱分析仪、示波器和比例积分(PI)模块，如图1所示。

　　图2：传感器的频率响应和平坦度。（a）扬声器的频率响应；（b）压电陶瓷的频率响应

　　在频率响应测试实验中，SG的输出幅度保持在10V，以保持声源所产生声压的稳定性。在40kHz、58kHz、200kHz和300kHz下测试了SOI微环形谐振腔产生的响应频率点，以表明频率范围。在此基础上，减小了频率间隔，在50Hz到100Hz的范围内，间隔缩小至10Hz。在100Hz到1kHz范围内的间隔为100Hz，1kHz到20kHz的范围内的间隔为1kHz。适当地增加超声频率范围以测试所设计的传感器能够响应的频率范围。使用频谱分析仪测试环形谐振腔的频率响应范围：在某一频率点采集声信号响应数据，直到声信号的幅值无法与背景噪声区分。测试结果如图2所示。每个传感器的平坦度均为2dB，最宽频率范围达到160kHz。当Q值更高时，谐振腔性能更好，实现了更宽的频率响应。

　　实验结果：

　　图3：声传感器灵敏度对比图

　　灵敏度是声学性能的主要指标之一，是传感器输出的多个电压幅值与相对应的标准声级计测量的声压值的拟合斜率，单位为mV/Pa。SG产生1kHz正弦信号并保持不变，经功率放大器放大后，信号连接到声源系统。通过控制SG的振幅，声源输出不同声压级的信号。实验中，SG振幅以1V的步长从1-10V依次递增。分别记录示波器上传感器的电压输出和标准声级计的声压值。如图3所示，随着声源驱动电压的增加，声压级逐渐增强从而导致空气折射率产生明显变化，检测电压幅值升高。实验结果表明，所有R²都大于0.97，线性度很好。此外，Q值更高，传感器的输出电压将呈现大幅增长的趋势。因此，Q值为3.44*10⁶的传感器具有60.075mV/Pa的高灵敏度。

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