实验名称：正弦相位调制激光干涉纳米位移测量系统方案

　　测试设备：电压放大器、电光相位调制器、光电探测器、He-Ne单频激光器等。

　　实验过程：

　　图1：正弦相位调制激光干涉纳米位移测量系统光路结构示意图

　　正弦相位调制激光干涉纳米位移测量系统光路结构如图1所示，图1中采用He-Ne单频激光器和横向电光相位调制器（EOM）构建了正弦相位调制激光干涉位移测量系统。为了表述方便将分光棱镜BS至参考角锥棱镜M1之间的光程标记为lr，将BS至角锥棱镜M2之间的光程标记为lo，将角锥棱镜M2的移动距离标记为Δl。干涉信号经过光电探测器PD探测后，经由ADC模数转换芯片采集输入进FPGA信号处理模块。FPGA对采集后的干涉信号进行载波基频和二倍频相乘并低通滤波，对低通滤波后的结果进行卡尔曼滤波处理，以修正正交分量的交流幅值和直流偏置，再进行反正切操作得到带解调相位。FPGA模块采用数字式频率生成器（DDS）来产生EOM的载波相位调制信号sinωct，经电压放大器（HVA）放大后调制EOM。同时FPGA模块通过串口与上位机相连，以实现相位解调结果的可视化，以及对位移测量过程中各参数的监测操作。

　　实验结果：

　　实验中介绍了横向电光相位调制相关原理，然后介绍了正弦相位调制激光干涉纳米位移测量系统光路，同时搭建实验系统来进行测试实验。

　　电压放大器推荐：ATA-2088

　　图：ATA-2088高压放大器指标参数

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